洗浄機

特徴	プロセスのモジュール化により、容易な工程入替が可能です。プロセス状況が目で見えるので、設定、監視、検証が簡単です。
対象ワーク	円形ワーク　φ48～φ100迄対応可能 (バッチ方式も対応可能)
ユニット構成	950kHz超音波付Dip槽 PVAスポンジによるブラシ洗浄スピンリンスユニットシャワー洗浄スピンドライユニット
クリーン度維持	プロセス側装置上部前面にULPA設置装置内にユニット毎の排気ブロアー付ディスク搬送部においてClass10（at0.1μ）以上の発塵なし

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株式会社ヒカリ

〒791-0297
愛媛県東温市南野田418-4
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